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產(chǎn)品分類
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| 品牌 | HUACE/北京華測 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣 | 
Huace-6 中端探針臺
產(chǎn)品簡介:
Huace-6 中端探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn),從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用:
◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;
◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測試;
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動;
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動;
◆ 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用;
技術(shù)參數(shù):
臺體規(guī)格  | |
尺寸  | 4英寸/6英寸/8英寸  | 
水平旋轉(zhuǎn)  | 可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置  | 
X-Y移動行程  | 4英寸×4英寸/6英寸×6英寸  | 
X-Y移動精度  | 10μm/1μm  | 
樣品臺Z軸調(diào)節(jié)  | 可升降10mm  | 
樣品固定  | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)  | 
針座平臺  | U型針座平臺,zuiduo可放置6個探針座  | 
背電極測試  | 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極  | 
外形尺寸  | 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高  | 
設(shè)備重量  | 約20KG  | 
光學(xué)系統(tǒng)  | |
顯微鏡類型  | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡  | 
放大倍率  | 16X-200X/20X-4000X  | 
移動行程  | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm  | 
光源  | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源  | 
CCD  | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素  | 
定位器  | |
X-Y-Z移動行程  | 12mm*12mm*12mm  | 
移動精度  | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm  | 
吸附方式  | 磁力吸附,真空吸附  | 
線纜  | 同軸線/三軸線  | 
漏電精度  | 10pA/100fA/10fA  | 
固定探針  | 彈簧固定/管狀固定  | 
接頭類型  | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子  | 
針尖直徑  | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm  | 
針尖材質(zhì)  | 鎢鋼;鈹銅  | 
可選附件:
加熱臺;
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學(xué)平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件;
高壓測試配件;
顯微鏡快速傾仰裝置;
激光系統(tǒng);
探針卡夾具;
探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
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