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半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

簡要描述:半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量,時(shí)域測量等。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-08-28
  • 訪  問  量:3743

詳細(xì)介紹

品牌HUACE/北京華測

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)

功能:

可提供直流電壓/電流輸出,直流電壓/電流測量和交流信號(hào)輸出以及阻抗測量

主要技術(shù)指標(biāo):

探針臺(tái):

1.探針臺(tái)主機(jī):卡盤XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm

2.絲桿軸承確保移動(dòng),分辨率3.5um

3.針座:精度0.7um

4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃


半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)


半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

1.直流I-V測試:

具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測量電壓分辨率0.5μV、電流分辨率0.1fA

2.C-V測試:頻率1KHz-5MHz;偏置電壓:±25V;測量精度±0.2 %

3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測量間自動(dòng)切換,不會(huì)影響測量精度

4.脈沖IV:

提供兩路快速IV/脈沖輸出,具有任意波形產(chǎn)生功能

脈沖寬度:50ns;脈沖電平范圍:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載);電壓測量精度:±0.1%讀值, ±0.1% 量程;電流測量精度:±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量,時(shí)域測量等。

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成


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